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반도체 산업에서의 실리콘 카바이드의 응용

【생산과정】

실리콘 카바이드의 산업적 생산 방법은 저항로에서 고품질 석영 모래와 석유 코크스를 사용하는 것입니다. 정제된 실리콘 카바이드 블록은 분쇄, 산 및 알칼리 세척, 자기 분리 및 선별 또는 물 분리를 통해 다양한 입자 크기의 제품을 만듭니다.

탄화규소에는 일반적으로 사용되는 두 가지 기본 품종인 검은 탄화규소와 녹색 탄화규소가 있으며, 둘 다 α-SiC에 속합니다. (1) 검은 탄화규소는 약 98.5%의 SiC를 함유하고 있으며, 그 인성은 녹색 탄화규소보다 높으며, 대부분은 유리, 세라믹, 석재, 내화물, 주철 및 비철 금속과 같은 인장 강도가 낮은 재료를 가공하는 데 사용됩니다. (2) 녹색 탄화규소는 99% 이상의 SiC를 함유하고 있으며, 자체 연삭성이 좋으며, 주로 시멘트 카바이드, 티타늄 합금 및 광학 유리를 가공하는 데 사용되지만, 실린더 라이너를 연마하고 고속강 공구를 미세 연삭하는 데에도 사용됩니다. 또한 특수한 공정을 통해 제조된 황록색 결정인 입방형 실리콘 카바이드가 있는데, 이는 베어링의 초정삭에 적합한 연마제를 만드는 데 사용되며, 표면 거칠기를 Ra32~0.16마이크론에서 Ra0.04~0.02마이크론으로 만들 수 있습니다.

[이용방법]

(1) 연마재로서 연삭휠, 오일스톤, 연삭헤드, 모래타일 등 연삭재로 사용 가능하다.

(2) 야금용 탈산제 및 고온내열재료로 사용 가능.

실리콘 카바이드는 기능성 세라믹, 고급 내화물, 연마재 및 야금 원료의 네 가지 주요 응용 분야가 있습니다. 현재 실리콘 카바이드 조재료는 대량으로 공급할 수 있었지만 하이테크 제품으로 간주할 수 없으며 기술 함량이 매우 높은 나노 스케일 실리콘 카바이드 분말을 적용하면 단시간에 규모의 경제를 형성할 수 없습니다.

(3) 반도체 및 실리콘 카바이드 섬유 제조에 사용될 수 있는 고순도 단결정입니다.

(4)탄화규소는 경도가 크고 열전도도가 우수하며 반도체의 일종으로 고온에서 산화를 잘 견딘다

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